羅茨式真空泵，也稱為羅茨鼓風機，是一種正排量泵，其工作原理是通過一對類似齒輪的旋轉葉片捕獲和輸送氣體，而無需內部壓縮。當葉片旋轉時，它們會產生連續(xù)的氣體流，從而在相對較低的壓力下實現(xiàn)高泵送速度。由于其設計簡單，能夠實現(xiàn)低至10^-3毫巴的真空度，羅茨式真空泵廣泛應用于工業(yè)應用，包括化學加工、冶金和半導體制造。